硅模板  

微接觸壓印光刻（Microcontact－NIL） 微接觸壓印光刻技術要先通過光學或電子束光刻得到模版。模具材料的化學前體在 模版中固化，聚合成型后從模版中脫離，便得到了進行微接觸印刷[百科 微博]所要求的模 具。常常要得到的模具是 PDMS，接著，PDMS 模具浸在含有硫醇的試劑中，然后將浸過試 劑的模具壓到鍍金襯底上，襯底可以為玻璃、硅、聚合物等多種形式。另外，在襯底上可以 先鍍上一薄層鈦層然后再鍍金，以增加粘連。硫醇與金發生反應，形成自組裝單分子層 SAM。 印刷后有兩種工藝對其處理。一種是采用濕法刻蝕，如在氫化物溶液中，氫化物的離子促使 未被 SAM 層覆蓋的金溶解，而由于 SAM 能有效地阻擋氫化物的離子，被 SAM 覆蓋的金被 保留，從而將單分子層的圖案轉移到金上。還可以進一步以金為掩模，對未被金覆蓋的地方 進行刻蝕，再次實現圖案轉移，另一種是在金膜上通過自組裝單層的硫醇分子來鏈接某些有 機分子，實現自組裝，如可以用此方法加工生物傳感器的表面。 2.微接觸印刷不但具有快速、廉價的優點，而且它還不需要潔凈間的苛刻條件，甚至不需要 平整的表面，微接觸印刷還適合多種不同表面，具有作用方法靈活多變的特點，該方面 缺點是在亞微米尺度，印刷時硫醇分子的擴散將影響對比度，并使印出的圖形變寬。通過優 化浸液方式、浸液時間，尤其是控制好模具上試劑量及分布，可以使擴散效應下降。